Yarım iletken malzemelerinin ince film hazırlanması için CVD fırın deppozisyon ekipmanları

Ürün Ayrıntıları

Marka adı: Jingtan

Sertifika: CE

Ödeme ve Nakliye Şartları

Min sipariş miktarı: 1 set

Fiyat: USD12,000-100,000/SET

Ambalaj bilgileri: Tahta Sandık Paketleme

Teslim süresi: 60 gün

Ödeme koşulları: L/C/T/T

Yetenek temini: 30 Adet / Çeyrek Adet

En İyi Fiyatı Alın

Şimdi iletişime geçin

Özellikler

Açıklama

Özellikler

Vurgulamak: 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              Yarım iletken malzemeleri için depolama ekipmanları, Yarım iletken malzeme için CVD fırını
                                                  

Doğum yeri:	Hunan, Çin	Türü:	İndüksiyon fırını
Kullanımı:	biriktirme fırını	Video Çıkış denetimi:	Verilmiştir
Makine Test Raporu:	Verilmiştir	Ana bileşenler:	PLC
brand name:	Jingtan	Voltaj:	380
Ağırlık (T):	2 ton	Güç (kW):	220
Önemli Satış Noktaları:	Rekabetçi fiyat	Tasarım sıcaklığı (°C):	1250-2200
Çalışma Sıcaklığı:	900-1200°C	Basınç artış hızı (Pa/h):	0,67Pa/saat(150Pa/24saat)
Isıtma yöntemi:	direnç/indüksiyon	Çalışma Ortamı:	vakum/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Fırın Tipi:	Kare/yuvarlakDikey/Yatay	Fırın soğutma modu:	fırın kabuğu su soğutma
Kızılötesi enstrüman:	tek/çift kolorimetrik	Sıcaklık Tekdüzeliği:	±5
Sınır vakum Derecesi ((Pa):	1-100	Pazarlama Türü:	Sıradan Ürün
Çekirdek bileşenlerin garantisi:	1 yıl	Uygulanabilir endüstriler:	Diğer, yarı iletken

Doğum yeri:	Hunan, Çin
Türü:	İndüksiyon fırını
Kullanımı:	biriktirme fırını
Video Çıkış denetimi:	Verilmiştir
Makine Test Raporu:	Verilmiştir
Ana bileşenler:	PLC
brand name:	Jingtan
Voltaj:	380
Ağırlık (T):	2 ton
Güç (kW):	220
Önemli Satış Noktaları:	Rekabetçi fiyat
Tasarım sıcaklığı (°C):	1250-2200
Çalışma Sıcaklığı:	900-1200°C
Basınç artış hızı (Pa/h):	0,67Pa/saat(150Pa/24saat)
Isıtma yöntemi:	direnç/indüksiyon
Çalışma Ortamı:	vakum/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Fırın Tipi:	Kare/yuvarlakDikey/Yatay
Fırın soğutma modu:	fırın kabuğu su soğutma
Kızılötesi enstrüman:	tek/çift kolorimetrik
Sıcaklık Tekdüzeliği:	±5
Sınır vakum Derecesi ((Pa):	1-100
Pazarlama Türü:	Sıradan Ürün
Çekirdek bileşenlerin garantisi:	1 yıl
Uygulanabilir endüstriler:	Diğer, yarı iletken

Açıklama

Yarım iletken malzemelerinin ince film hazırlanması için CVD fırın deppozisyon ekipmanları

Spesifikasyon:

Vakum çökeltme fırını:

Temel olarak karbon-karbon kompozit malzemelerinin hazırlanması için kullanılır ve çökme fırını esas olarak grafit yüzeyinde pirolitik karbon kaplama hazırlanması için kullanılır.yarı iletken cihazlar ve ısıya dayanıklı temizleme malzemeleri.

Parametreler/Model numarası.	JT-0305-C	JT-0505-C	JT-0608-C	JT-0608-C	JT-0812-C	JT-1120-C	JT-1218-C	JT-1520-C
Çalışma bölgesi boyutu φ×H(mm)	300×500	500×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
En yüksek sıcaklık (°C)	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300
Sıcaklık eşitliği ((°C)	± 5	± 5	±5/±7.5	±7.5/±10	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	± 15 / ± 20
Sınır Vakum Derecesi ((Pa)	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
Sınır Vakum Derecesi ((Pa)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Isıtma yöntemi	Direnç/indüksiyon	Direnç/indüksiyon	Direnç/indüksiyon	Direnç/indüksiyon	Direnç/indüksiyon	Direnç/indüksiyon	Direnç/indüksiyon	Direnç/indüksiyon

Tasarım sıcaklığı	1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
Ortak sıcaklık	900~1200°C
Vakum derecesi	< 50Pa
Basınç artış hızı	6.67pA /h ((veya 150Pa/24h) soğuk halinde boş fırında
Isıtma modu	Grafit direnci ısıtma veya endüksiyon ısıtma, bağımsız sıcaklık kontrolü, iyi sıcaklık tekdüzeliği
Atmosfer ortamı	vakum /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

Gaz kontrol modu	Kütle akış ölçer kontrolü, çok kanallı gaz yolu, tek tip bir akış alanı, çökme ölü açısı yok, iyi bir çökme etkisi;Çok aşamalı ve verimli egzoz gazı arıtma sistemi, çevre dostu,Temizlenmesi kolay
Fırın türü	kare, yuvarlak, dikey veya yatay yapı (standart olmayan tasarım), tamamen kapalı bir çökme odası, iyi bir mühürleme etkisi, Güçlü bir kirlilik karşıtı yeteneği;
Fırın soğutma modu	fırın kabuğu su soğutma, dış dolaşım hızlı soğutma sistemi seçilebilir, kısa soğutma süresi, yüksek üretim verimlilik;

Yapı biçimi	Yatay - yan boşluk, dikey - yukarı/aşağı boşluk
Kilitleme modu	Manual/otomatik
Kabuk malzemesi	İç paslanmaz çelik/tüm paslanmaz çelik
İzolasyon malzemesi	Karbon filtı/grafit filtı/karbon lifinden kalınlaştırılmış filtı
Kızılötesi cihaz	Tek kolorimetrik/iki kolorimetrik
Güç kaynağı	KGPS/IGBT (yalnızca orta frekanslı ısıtma için uygundur) Ürün parametresi: