Kapı Kilitleme Modu Grafit ve Yarım iletken cihazlar için vakum çökme fırını

Vakum çökme fırını karbon-karbon kompozit malzemelerinin hazırlanması için kullanılır.ve çökme fırını esas olarak grafit yüzeyinde pirolitik karbon kaplama hazırlamak için kullanılır, yarı iletken cihazlar ve ısıya dayanıklı temizleme malzemeleri.

Uygulama alanı:

Grafit, yarı iletken cihazlar, ısıya dayanıklı temizleme malzemeleri.

1Temel parametreler:

1) Tasarım sıcaklığı: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Ortak sıcaklık: 900~1200°C

3) Vakum derecesi: < 50Pa

4) Basınç artış hızı: 6.67pA / h (veya 150Pa / 24h) boş fırının soğuk halinde

5) Isıtma modu: grafit direnci ısıtma veya endüksiyon ısıtma, bağımsız sıcaklık kontrolü, iyi sıcaklık tekdüzeliği

6) Atmosfer ortamı: vakum /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Gaz kontrol modu: kütle akış ölçer kontrolü, çok kanallı gaz yolu, eşit akış alanı, hiçbir çökme ölü açısı, iyi çökme etkisi;

Çok aşamalı ve verimli egzoz gazı arıtma sistemi, çevre dostu, temizlenmesi kolay;

8) Fırın tipi: kare, yuvarlak, dikey veya yatay yapı (standart olmayan tasarım), tamamen kapalı bir çökme odası, iyi bir mühürleme etkisi, güçlü kirliliğe karşı yeteneği;

9) Fırın soğutma modu: fırın kabuğu su soğutma, dış dolaşım hızlı soğutma sistemi seçilebilir, kısa soğutma süresi, yüksek üretim verimliliği;

2Vakum çökme fırının yapısı:

Yapı şekli: yatay - yan boşaltma, dikey - yukarı/aşağı boşaltma

Fırın kapısının kilitlenme modu: manuel/otomatik

Fırın kabuğu malzemesi: iç paslanmaz çelik/tüm paslanmaz çelik

İzole edici malzeme: karbon filtı/grafit filtı/karbon lifinden kalınlaştırılmış filtı

Isıtma, muffle malzemesi: grafit /CFC

Kızılötesi cihaz: Tek kolorimetrik/Çifte kolorimetrik

Güç kaynağı: KGPS/IGBT (yalnızca orta frekanslı ısıtma için uygundur)

Ürün özellikleri: