Kimyasal Buhar Depozisyon Fırını Metal Organik Bileşikler SiC Kompozit Malzemeler

Buhar çökme fırını, metal halogenlerinin, metalik organik bileşiklerin ısıtılması ve buharlaştırılması için kullanılabilir.Hidrokarbonlar ve hedef malzemenin yüzeyinde katı çöküntü üretmek için spesifik basınç altında diğer reaksiyon kaynaklarıAynı zamanda karbon kaynağı olarak hidrokarbon gazı (C3H8 gibi) ile bileşik malzemelerin kimyasal buhar çökümü için de kullanılır.CVI işleme.

Özellikleri:

1) Orta veya yüksek sıcaklıkta, katı madde, gaz fazındaki başlangıç bileşikleri arasındaki gaz fazında kimyasal reaksiyon yoluyla matris üzerinde oluşur ve bırakılır.

2) Atmosferik basınç veya vakum koşullarında depose edilebilir (sıfır basınç depose, genellikle vakum depose filmi kalitesi daha iyidir).

3) Plasma ve lazer destekli teknolojinin kullanımı kimyasal reaksiyonu önemli ölçüde hızlandırabilir, böylece çökme daha düşük bir sıcaklıkta gerçekleştirilebilir.

4) Kaplamanın kimyasal bileşimi, gaz faz bileşimi değişikliği ile değişebilir, böylece eğimli çöküntü veya karışık kaplama elde edilebilir.

5) Kaplama yoğunluğunu ve kaplama saflığını kontrol edebilir.

6) kaplama parçalarının etrafında. Karmaşık şekil matrisine ve granüler malzemeye kaplanabilir. İş parçasının her türlü karmaşık şeklini kaplamak için uygundur. İyi kaplama performansı nedeniyle,Çukurlarla kaplanabilir., çukurlar, delikler ve hatta iş parçasının kör delikleri.

7) Depolama tabakası genellikle sütunlu bir kristal yapısına sahiptir ve bükülmeye dayanıklı değildir.ama yapısı çeşitli teknikler yoluyla kimyasal reaksiyonun gaz fazı rahatsızlığı ile iyileştirilebilir.

8) çeşitli reaksiyonlar yoluyla çeşitli metal, alaşım, seramik ve bileşik kaplamalar oluşturabilir.