Metal halogenitleri, metalik organik bileşikleri ısıtmak ve buharlaştırmak için kullanılabilir.Hidrokarbonlar ve hedef malzemenin yüzeyinde katı çöküntü üretmek için spesifik basınç altında diğer reaksiyon kaynaklarıAynı zamanda karbon kaynağı olarak hidrokarbon gazı (C3H8 gibi) ile bileşik malzemelerin kimyasal buhar çökümü için kullanılır.
malzemeler, CVD, CVI işleme.